监控无尘室在使用过程中正常的运行和维护，应对室内的运行状况及相关设施进行定期检查。如:在规定的时间、地点，用粒子计数器测定控制粒径的微粒数;在规定时间、地点测定沉降菌落数或浮游菌数等;温湿度方面，在规定的时间、地点测定和核对连续测定记录;测量净化空调系统的高效过滤器的压差，检查空气过滤器是否堵塞、安装的密封垫是否完好或过滤器损坏引起的泄露情况，使用风速计检查局部排风装置的风量;使用噪声测定仪在规定的时间、地点测定噪声值;检查送风机轴承、送风机的运行状态、尘埃和污物，以及送、回风管道内部和送风口的腐蚀及污垢等情况;无尘室内是否保值清洁、顶棚和墙面是否有裂缝或腐蚀;涂敷状态、机械和设备类有没有异常现象等，必须逐个列表检查，不能遗漏任何一项;使用照度表在规定的时间、地点测定照度值;使用压差表测定无尘室内外的静压差。